آموزش لایه های نازک – فناوری مواد لایه نازک برای تولید قطعات ریز و حساس

هر چه ضخامت لایه‌های مواد کمتر شود خواص مکانیکی آن‌ها نیز تغییر می‌کند. امروزه برای تولید قطعات حساس و خاص، نیازمند موادی با خواص مکانیکی بهتر هستیم. لایه‌های نازک، مواد با ضخامت خیلی‌کم هستند که به طور تقریبی دو‌بعدی به حساب می‌آیند. این لایه‌های نازک در ساخت قطعات پیچیده و حساس مختلف از جمله: قطعات الکتریکی و الکترونیکی، مدار‌ها و سنسور‌های ویژه مورد استفاده قرار می‌گیرند. اهمیت لایه‌های نازک در ساخت قطعات مدرن و پیچیده نیز به چشم می‌آید. علاوه بر کاربرد‌های لایه نازک، مطالعه و بررسی روش‌های ساخت آن نیز حائز اهمیت است زیرا نحوه تشکیل لایه‌های نازک بر خواص نهایی آن‌ها نیز تاثیر مستقیم دارد. جهت بررسی خواص لایه‌های نازک، نیازمند استفاده از روش‌های مختلف مشخصه‌یابی و آنالیز هستیم. با بررسی و آنالیز سطوح این لایه‌ها می‌توان ویژگی آن‌ها را بررسی نمود و با توجه به روش‌های ساخت آن‌ها، به خواص بهینه و مناسب‌تر دست یافت. این فرادرس با عنوان مواد لایه نازک در دوره کارشناسی ارشد و دکتری رشته مهندسی مواد همه گرایش‌ها و رشته مهندسی نانو‌مواد، تدریس می‌شود. هدف از ارائه این آموزش، آشنایی دانشجویان مهندسی مواد و مهندسی نانو‌مواد با لایه‌های نازک و کاربرد‌های آن است. مباحث این آموزش در قالب 6 فصل ارائه می‌شود که شامل: مقدمه‌ای بر لایه‌های نازک، ویژگی‌های لایه‌های نازک، روش‌های ساخت لایه‌های نازک، روش‌های تشخیص و مشخصه‌یابی لایه‌های نازک و کاربرد‌های لایه نازک، لیتوگرافی و ممز (MEMS) است.

فرادرس

محمد روستایی